多面转镜抬高了振镜设下的产能天花板

振镜扫描器通过把反射镜旋转到指令角度来定位光束。它精确、灵活、快速,但存在由镜片惯量决定的加速度上限。对于因热累积而必须采用高扫描速度的工艺,这个上限就成了约束。

多面转镜的不同做法

多面转镜让一面多棱镜以恒定速度连续旋转。每个镜面把光束沿一个方向扫过视场,下一个镜面开始下一次扫描。没有加速也没有换向,因此可以获得比振镜高一个数量级的扫描速度。

这直接针对热累积问题。相邻脉冲落点相距很远,每个区域在光束返回之前已经冷却,于是在原本会把工件烤熟的平均功率下,超快加工的非热特性得以保持。

取舍

多面转镜只沿一个方向、沿固定线条、以恒定速度扫描。它们是光栅式器件,不是矢量式器件。任意轮廓跟随、驻留控制、沿路径变速——这些振镜的天然能力——都不具备。